產品情報

奈米趨勢科技有限公司

感測器

奈米趨勢科技有限公司將在台灣國際工具機展中,展出德國MICRO-EPSIlON系列位移感測器。德國MICRO-EPSIlON公司專精於精密位移感測器的研發與製造,其產品有雷射、渦電流、電容式、共焦式、拉線式,解析度最小至0.001奈米(nm),系列產品可應用於精密機械、光學、電子業等各種需要精密位移測量需求的產業。以電容式感測器為例。該產品的量測範圍自0.05-10mm,最小解析度0.0375奈米,可多段同步量測,並可量測導體、半導體及非導體位移量與距離,最快取樣達50KHZ,典型範例包括晶元蝕刻鏡片對位、位移、震動、偏擺、厚度、定位。 另光譜共焦式量測系統。量測範圍自0.3-30mm,最小解析度10奈米(nm),最小測量點直徑6微米,可測量任何表面、反射面、液面,最快取樣速度達70KHZ,典型範例包括量測玻璃或鏡面表面、精密3D輪廓掃描、透明材料可從單面做厚度測量。

Email: nt@nano-trend.com